{"product_id":"ieej-zt041080","title":"RF絶縁破壊における電子ドリフト運動のモンテカルロシミュレーション","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-080\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMonte Carlo Simulation of Electron Drift Motion in RF Breakdown\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐々木典彦 (山形大学),庄司正文 (ワコム電創),内田裕 (東芝)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eRF絶縁破壊|電子ドリフト運動|モンテカルロシミュレーション\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e平行平板容量結合型RF(13.56MHz)放電の絶縁破壊時における電子の振動的ドリフト運動を、モンテカルロ法を用いてシミュレーションしている。電極における電子の反射の、ドリフト振幅や電子エネルギーに及ぼす影響の大きさを調べている。破壊特性(破壊電圧の圧力依存性)の右枝では、電子の運動は換算電界だけで決まるのに対し、左枝では、換算電界と反射により決まることが示された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e607 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396555428079,"sku":"IEEJ-ZT041080-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4f3e5a82-0e33-4663-9757-542027a11467.png?v=1744812845","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt041080","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}