{"product_id":"ieej-zt041090","title":"パルス変調Ar誘導熱プラズマトーチ下流域におけるスペクトル放射強度の圧力依存性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-090\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eRadiation Intensity at Downstream Position of Pulse Modulated Ar Induction Thermal Plasma Torch at different pressures.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e谷口 賢次(金沢大学),黒川 隆彦(金沢大学),田中 康規(金沢大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKenji Taniguchi(Kanazawa University),Takahiko Kurokawa(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパスル変調誘導熱プラズマ|Arスペクトル放射強度|電流変調率SCL|過渡応答\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高周波誘導熱プラズマを維持するコイル電流をミリ秒オーダの周期でパルス的にAM変調させ,熱プラズマを意図的に過渡状態にする「パルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)」を導入した。これによって熱プラズマを時間的に交互に,ガス温度および電子温度の高・低ならびに高温熱流体の高速・低速状態とすることができる。一方熱プラズマプロセスにおいては,減圧下で行うことが多くなってきている。そこで,圧力を200‐1000 torrとした場合のAr PMITPの性状を解明することを目的として,分光観測により波長751 nmにおけるArスペクトル放射強度の過渡応答特性と電流変調率SCL依存性を測定した。ここでは特に反応容器内に着目している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e3,594 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396556771567,"sku":"IEEJ-ZT041090-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_6b419226-d268-4c87-ac4f-adc1a9896e36.png?v=1744812901","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt041090","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}