{"product_id":"ieej-zt041189","title":"ガスパフプラズマガンをイオン源としたパルス重イオンビーム加速器の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-189\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Pulsed Heavy Ion Beam Accelerator with Gas Puff Plasma Gun\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e手島 怜(富山大学),東山 昌義(富山大学),北村 岩雄(富山大学),升方 勝己(富山大学),田上 尚男(産業技術総合研究所),荒井 和雄(産業技術総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRei Tejima(Toyama University),Masayoshi Higashiyama(Toyama University),Iwao Kitamura(Toyama University),Katsumi Masugata(Toyama University),Hisao Tanoue(National Insitute of Advanced Industry Science and Technology),Kazuo Arai(National Insitute of Advanced Industry Science and Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルスパワー|パルス重イオンビーム|SiC|電子絶縁用磁場コイル|イオンダイオード\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eガスパフプラズマガンをイオン源としたパルス重イオンビーム発生装置の開発。次世代の半導体として期待されているSiCは、イオン注入後にSi半導体に比べ高温のアニリーング処理が必要である。そのため、従来のアニーリング法ではSiC上の絶縁膜まで破壊してしまうために、SiC半導体を作るのが難しい。そこで、我々はSiC等の高温半導体への新しいイオン注入法として、アニーリング処理の必要のないパルス重イオンビームを用いたイオン注入法を提案する。パルスイオンビームは、直流のイオンビームに比べ短パルス、大電流密度、高エネルギーのビームである。パルスイオンビームをターゲットに照射した場合、ターゲットにイオンが注入されると同時にイオンの運動エネルギーが熱エネルギーに変換され、イオン注入層の再結晶化が起こる。このことから、イオン注入後のアニリーング処理が必要なく、SiC等の高温半導体へのイオン注入が可能となる。今回、ガスパフプラズマガンをイオン源としたパルス窒素イオンビーム発生装置を開発したので、その動作特性について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e718 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396573745391,"sku":"IEEJ-ZT041189-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a700afa4-bc39-49e2-9373-56a8656c3c1b.png?v=1744813448","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt041189","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}