{"product_id":"ieej-zt042099","title":"H2プラズマアシスト・レーザアブレーション法によるDLC太陽電池の創製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-099\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003eH\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eプラズマアシスト・レーザアブレーション法によるDLC太陽電池の創製\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe invention of the DLC solar cell by the Laser Ablation Method with H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e Plasma Assist\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 慶彦(日本大学),鈴木 薫(日本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eyoshihiko Tanaka(Nihon University College of Science and Technology),Kaoru Suzuki(Nihon University College of Science and Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eDLC\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、化石燃料の消費による環境破壊が問題視されているため、化石燃料に代わる新たなエネルギーが必要となってきており、クリーンなエネルギーである太陽エネルギーに注目が集まっている。そこで著者等はDLC薄膜のアモルファス半導体特性に着目し、太陽電池への応用を検討している。従来の成膜法としてプラズマCVD法があげられ、p型作成にはドープガスにB\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eH\u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003eを用い、n型作成にはPH\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eが主に使用されている。しかし、これらのガスは毒性があるため、排気設備等に莫大な費用がかかる等、工業面において非常に厳しい制約がある。そこで我々は、不純物を毒性の少ない方法で混入した炭素をターゲットとし、レーザアブレーション法にてSi基板上に不純物ドープDLCの成膜を試みた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e791 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396597502191,"sku":"IEEJ-ZT042099-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_af64d8ea-d584-4f41-baf6-28b4d22d6e86.png?v=1744814217","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt042099","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}