{"product_id":"ieej-zt043120","title":"パターン移植による微細金属パターン作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-120\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFine Metal Pattern Fabrication by Transferral Process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e川田 博昭(大阪府立大学),上野 剛人(大阪府立大学),安田 雅昭(大阪府立大学),平井 義彦(大阪府立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroaki Kawata(Osaka Prefecture University),Taketo Ueno(Osaka Prefecture University),Masaaki Yasuda(Osaka Prefecture University),Yoshihiko Hirai(Osaka Prefecture University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e移植法|エポキシ接着剤|微細金属パターン|ニッケルメッキ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e副基板上に作製した金属パターンを所望する主基板上に貼り付け、移植することにより、主基板に微細金属パターンを作製する方法を開発した。接着はエポキシ接着剤で行った。市販のエポキシ接着剤をシクロヘキサノンで希釈し、スピンコートすることにより、主基板上に約0.3μmの薄いエポキシ接着層を得ることができた。副基板上に作製したNiパターンを薄いエポキシ接着層を塗布した主基板上に大気圧でプレスし、150℃に加熱して接着剤を硬化させ、主基板上にNiパターンを移植した。この方法で主基板上に3×5mmの大きなパターンから5μm角の小さなパターンまで作製することができた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e705 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396633874671,"sku":"IEEJ-ZT043120-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9efd1a23-1bb0-4330-a286-f3d438d5496e.png?v=1744815274","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt043120","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}