{"product_id":"ieej-zt043130","title":"PZT圧電薄膜を用いたMEMSスイッチの研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-130\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMEMS Switch using Piezoelectric PZT thin films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e遠藤 広宣(京都大学),神野伊策 (京都大学),寒川 潮(松下電器産業),小寺 秀俊(京都大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHironobu Endo(Kyoto University),Isaku Kanno(Kyoto University),Ushio Sangawa(Matsushita Electric Industrial),Hidetoshi Kotera(Kyoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e圧電薄膜|RFスイッチ|MEMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e現在までのRF-MEMSスイッチは静電気力による駆動が主流であるが,それらは駆動に必要な電圧が数十Vに及ぶために実用上大きな問題を有している.そこで本研究では低電圧で駆動させるため,これまでの静電駆動ではなく,圧電駆動のスイッチの開発を行い,その特性の評価を行った.本研究で導いたPZT薄膜の特性を基に最適な形状設計をすることにより,低電圧かつ高速応答が可能なMEMSスイッチが実現可能であると考えられる.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,517 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46396635971823,"sku":"IEEJ-ZT043130-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5182be62-ebcc-495d-808d-9b12f5a3e5d8.png?v=1744815329","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt043130","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}