{"product_id":"ieej-zt044210","title":"磁気軸受によるモード制振の可能性検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-210\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFeasibility Study on Vibration Mode Suppression Using Magnetic Bearing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 寿也(東京農工大学),赤津 観(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eToshiya Tanaka(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kan Akatsu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eモード別制振|モード分離補償器|磁気軸受\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体作成プロセスにおいては、微振動が大きな影響を与える。そこで、筆者は電子ビーム露光装置を例にあげ、真空装置としてあらかじめ装着されているターボ分子ポンプを用いて構造物の振動を制振する方法を提案した。しかし、この際振動モードごとで方向が異なるためこれを考慮する必要がある。そこで、本研究では、「モード分離補償器」を用いることで、基本モードと2次モードの分離検出を行い、これをフィードフォワード信号として系の中に加えることでモード別に制振を行う方法を提案する。その結果、基本モード及び2次モードの振動方向に関わらず、より広い帯域で制振が可能となる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,437 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46396679127279,"sku":"IEEJ-ZT044210-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_824a1882-990f-4c36-ae9b-77bf1cbe1c15.png?v=1744816832","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt044210","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}