{"product_id":"ieej-zt051056","title":"0.5% C5F8-Ar 混合気体中の電子輸送係数の測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-056\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003e0.5% C\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e-Ar 混合気体中の電子輸送係数の測定\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Measurement of Electron Swarm Parameters in 0.5% C\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e-Ar Mixture\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e播摩雄久 (慶應大学),平間 伸雄(慶應大学),井上 真史(慶應大学),中村 義春(慶應大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakahisa Harima(Keio University),Nobuo Hirama(Keio University),Masafumi Inoue(Keio University),Yoshiharu Nakamura(Keio University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電子輸送係数|C5F8-Ar混合気体|ドリフト速度|縦方向拡散係数\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体ドライエッチング用代替気体として期待されているC\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e分子の電子衝突断面積セットを決定するための研究の一環として、前回の純粋C\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e中の電子輸送係数の測定に続いて0.5%C\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e-Ar混合気体中における電子輸送係数の測定結果について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e673 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396782313711,"sku":"IEEJ-ZT051056-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5e8b80d4-cbf6-4fb9-aced-1f4239522d57.png?v=1744820546","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt051056","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}