{"product_id":"ieej-zt051172","title":"時間分解干渉計を用いたZピンチプラズマの挙動観測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-172\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eObservation of Z-pinch Plasma Dynamics Using Time-resolved Interferogram\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e勝木 淳(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),浪平 隆男(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSunao Katsuki(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Takao Namihira(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eZピンチ|極端紫外線|高エネルギー密度プラズマ|時間分解干渉法|シュリーレン法|磁気パルス圧縮電源\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eZピンチ放電方式の半導体露光用EUV光源（波長13.5 nm、2％帯域幅）の開発研究が、2009年からの実用化を見据えて、日欧米において猛烈に進められている。目標光出力115 Wの達成と同時に長寿命化など総合的な高品質化のためには、電気入力に対する光出力への変換効率の改善が重要であり、このためにはプラズマの理解と制御が不可欠である。当研究室はZピンチプラズマのパラメータ計測とプラズマ制御法の開発に取組んでいる。本稿では、時間分解干渉計等を用いたプラズマ挙動の観測について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e866 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396798566639,"sku":"IEEJ-ZT051172-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2314edf0-f5d5-469c-8a8f-020da179e245.png?v=1744821212","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt051172","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}