{"product_id":"ieej-zt051190","title":"Ar-N2パルス変調誘導熱プラズマによるTi表面高速窒化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-190\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003eAr-N\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eパルス変調誘導熱プラズマによるTi表面高速窒化\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eRapid Surface Nitriding Process of Titanium Using Ar-N\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e Pulse Modulated Induction Thermal Plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e室屋 貴史(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakafumi Muroya(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e熱プラズマ|表面改質|窒化チタン|パルス|XRD\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e筆者らはこれまでにパルス変調誘導熱プラズマ（PMITP）を窒化用熱源として用い，金属表面の高速窒化処理技術の開発に取組んでいる。PMITPは誘導熱プラズマを維持するコイル電流をパルス的にAM変調させたもので，活性化学種の増大や，プラズマ温度場の制御など材料プロセスに優れた特性をもっている。今回筆者らはTiターゲットにAr-N2 PMITP直接照射することでTiN層の生成を試みた。その結果，処理時間3 min から5 minの試料において，XRD分析の結果TiN層が確認でき，また放射温度計を用いた基板温度測定においてパルス変調よる温度場制御の可能性も確認できた。この結果はPMITPが高速の表面改質の手法として十分な能力を有していることを示している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,737 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396801777903,"sku":"IEEJ-ZT051190-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_94da00f7-c3ae-4525-b01a-d73b5bef1446.png?v=1744821342","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt051190","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}