{"product_id":"ieej-zt051192","title":"表面波プラズマ装置のアンテナ形状によるモード制御","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-192\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMode control with slot antenna shape of surface wave plasma device\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e畑崎芳成 (東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshinari Hatazaki(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e表面波|プラズマ|アンテナ|モード|FDTD\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e表面波プラズマではモード(プラズマの発光パターン)と密度は密接に関係していると考えられていたが、密度を変化させてもモードが変化しないという測定結果が報告された。我々はこの報告に着目し、FDTDシミュレーションを行った結果、アンテナ形状によりモード制御が可能であるという結論を得た。本研究では、それを実験により検証することを目的としている。そこで、実験を行った結果、実際にもアンテナ形状でモード制御可能であることが確認された。さらに、モードと均一性の関係を調べた結果、モードを制御することで均一性の改善を図れることが示唆された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e761 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396801908975,"sku":"IEEJ-ZT051192-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bc120fdd-a80c-4900-8c3c-58b9cb4887d0.png?v=1744821348","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt051192","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}