{"product_id":"ieej-zt051199","title":"半導体リソグラフィ用EUV光源の光学的特性に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-199\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStudy of EUV Sorce on Optical Characteristic for Semiconductor Lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岩田和宏(東京工業大学),本間友祐(東京工業大学),宋仁皓(東京工業大学),Masnavi Majid(東京工業大学),Smruti Mohanty(東京工業大学),渡邊正人(東京工業大学),沖野晃俊(東京工業大学),安岡康一(東京工業大学),堀岡一彦(東京工業大学),堀田栄喜(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKAZUHIRO IWATA|YUSUKE HOMMA|IN HO|SONG MASATO|WATANABE AKITOSHI|OKINO KOUICHI|YASUOKA KAZUHIKO|HORIOKA EIKI|HOTTA\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|放電生成|EUV光|パルスパワー\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、半導体デバイスの高集積化のため，次世代のリソグラフィ用光源として波長13.5 nmのEUV光の開発が進められている。本研究では，放電生成プラズマ方式を用い、キャピラリー放電型および現在開発中の半径方向ガス入射放電型EUV光源の光学的な特性を評価することを目的として，透過型分光計測器を設計・製作した。そして，キセノンのパルス放電を行って必要とされる13.5 nm帯の発光を確認し，EUV出力の測定を行った。また，入力電流，ガス圧力，予備電離電流などの放電パラメータを変化させた場合のEUV放射プラズマ像を撮影するためにピンホールカメラを製作して測定を行い，各パラメータとプラズマ形状の関係を明らかにした。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e643 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396802531567,"sku":"IEEJ-ZT051199-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e6eb939b-02f1-49e0-aea0-2930e2e80fc8.png?v=1744821403","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt051199","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}