{"product_id":"ieej-zt052113","title":"成膜後熱処理によるハフニアの電気特性の改善","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-113\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eImprovement of Electrical Properties of Hafnia Films by Post-Deposition Annealing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e伊藤 俊秀(早稲田大学),中村 和彦(早稲田大学),前田 基宏(早稲田大学),高瀬 雅之(早稲田大学),及川 圭太(早稲田大学),鳥居 卓(早稲田大学),大木義路 (早稲田大学),加藤宙光 (AIST)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eToshihide Ito(Waseda University),Kazuhiko Nakamura(Waseda University),Motohiro Maeda(Waseda University),Masayuki Takase(Waseda University),Keita Oikawa(Waseda University),Suguru Torii(Waseda University),Yoshimichi Ohki(Waseda University),Hiromitsu Kato(AIST)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eハフニア|ゲート絶縁膜|高誘電率材料|プラズマ化学気相堆積法|電気特性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eプラズマ化学気相堆積法にて成膜したハフニアに対し、様々な条件下で熱処理を行い、電気特性の改善を試みた。700℃以上の熱処理では膜と基板との間に低誘電率層が形成され、また、熱処理温度の上昇に伴いリーク電流は低下することから、500～600℃での熱処理が最適であることを見出した。O\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e、N\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e、NOの3雰囲気中で熱処理を行った膜の電気特性を比較すると、O\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e中熱処理が最も効果的にリーク電流を低減した。また、欠陥密度を反映する容量-電圧特性のヒステリシス幅もO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e中熱処理で最小となった。以上より、ヒステリシス幅の原因となる電荷トラップ準位はO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e欠乏性欠陥であり、これがリーク電流の一因となることが示唆された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,548 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46396818096367,"sku":"IEEJ-ZT052113-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_098ca6fb-12d7-47e8-bee8-3d5dd69f160c.png?v=1744822018","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt052113","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}