{"product_id":"ieej-zt053123","title":"水素吸蔵によるPdの変形を動力源とした表面マイクロマシン用アクチュエータ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-123\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA micro actuator using shrinkage of Pd thin film by absorption\/desorption of hydrogen\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e豊田 耕平(山形大学),奥山 澄雄(山形大学),土田 朗義(山形大学),長沼 博(山形大学),松下 浩一(山形大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKohei Toyoda(Yamagata University),Sumio Okuyama(Yamagata University),Akiyoshi Tsuchita(Yamagata University),Hiroshi Naganuma(Yamagata University),Koichi Matsushita(Yamagata University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eアクチュエータ|表面マイクロマシニング|パラジウム|水素吸蔵|三次元微小構造|片持梁\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e表面マイクロマシニングにより3次元微小構造を作成するためには，組み立ての動力源となるアクチュエータが必要である．水素吸蔵によるPdの変形を用いた表面マイクロマシン用アクチュエータについて報告する． Pdは雰囲気中の水素を吸蔵し膨張する性質を持つ金属である．Pd薄膜を成膜した片持梁が置かれた雰囲気中に水素を導入すると，ガラスとPdの水素吸蔵による膨張率の差により片持梁は反り下がる．その後，水素を排気し大気を導入すると，初期の状態を越えて片持梁は反り上がる．この片持梁の変形を，表面マイクロマシンの立体構造を作成するためのアクチュエータとして利用した．結果として基板に垂直なマイクロミラーを実現できた．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e672 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396850962671,"sku":"IEEJ-ZT053123-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_38813525-bc40-4972-a849-b067c7fad1b8.png?v=1744823261","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt053123","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}