{"product_id":"ieej-zt053134","title":"X線リソグラフィを用いたテーパー構造体の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-134\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProduction of microstructure with inclined sidewall by 3D X-rays Lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e瀬戸本 豊(兵庫県立大学),植田 寛康(東海理化),上野 洋(東海理化),糸魚川 貢一(東海理化),服部 正(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYutaka,Setomoto|Hiroyasu,Ueda|Hiroshi,Ueno|koichi,Itoigawa|Tadashi,Hattori\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eX線リソグラフィ|テーパー\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究ではX線リソグラフィを使った2つの方法によりテーパー構造体の作製について検討を行った。1つは膜厚に分布を持ったX線吸収体をマスクとして用いてX線リソグラフィを行う方法である。X線吸収体は過剰めっきを用いてバンプ形状を作製することにより膜厚に分布を持たせた。またこのX線吸収体を用いてX線リソグラフィを行い、側面が若干テーパー形状になっている構造体を作製した。もう1つはX線リソグラフィ時にX線の回折を利用する方法である。X線リソグラフィの際にX線マスクとレジストの距離を変えることによるレジストの加工形状の変化を調査した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e877 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396850929903,"sku":"IEEJ-ZT053134-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8077bf5b-a564-40da-a764-4837a47b386b.png?v=1744823258","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt053134","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}