{"product_id":"ieej-zt053137","title":"等倍投影露光装置を用いた段差ウェハへの三次元パターニング","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-137\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThree-dimensional patterning on high topography using 1X lithography technology \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e金岡 佳充(矢崎総業),勝又 文治(矢崎総業),志田 幸穂(ウルトラテック),押久保修司 (ウルトラテック)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshimitsu Kanaoka(Yazaki Corporation),Fumiharu Katsumata(Yazaki Corporation),Yukio Shida(Ultratech Incorporated),Shuji Oshikubo(Ultratech Incorporated)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eリソグラフィ|露光装置|段差|三次元\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e等倍投影露光装置（ステッパー）を用いて、大きな段差を持つMEMSのウェハに対しパターニングする方法について報告する。長焦点深度型の露光装置より高解像度、ショットごとにフォーカス位置や露光量の設定可能、1枚のレティクルに4つまでの露光フィールドを配置できるという特長を生かし、複数の露光フィールドを使用して1つのつながったパターンを転写する。各々のフィールドには異なる高さ範囲のパターンのみを配置し、それぞれにフォーカス距離を最適化しながら、連続的に重ね合わせて露光し、全ての露光を終えてから現像する。この方法により、大きな段差へのパターニングに際し，解像度と焦点深度を両立させることができた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e716 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396851880175,"sku":"IEEJ-ZT053137-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_faaf3a8a-5582-4ae0-80b1-1055414b68c4.png?v=1744823329","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt053137","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}