{"product_id":"ieej-zt053173","title":"WO3セラミック粒子と薄膜ヒーターによる高感度NO2センサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-173\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHigh sensitivity NO2 sensor using WO3 particles and thin film heater\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中田 嘉昭(堀場製作所),山岸 豊(堀場製作所),松本 晋一(エフアイエス),玉置 純(立命館大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshiaki Nakata(Horiba),Yutaka Yamagishi(Horiba),Shinichi Matsumoto(FiS),Jun Tamaki(Ritsumeikan University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e薄膜|半導体センサ|NOX\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体式のガスセンサの中でもWO3を使ったNOXセンサは高感度であり、1ppm以下の低濃度NO2を検知できることから、大気汚染測定用への応用が期待されている。しかしWO3のNO2感度には温度依存性があり、センシングの際にはWO3を200℃程度に均一に、精度良く昇温する必要がある。我々はMEMS技術を用いて作製したダイヤフラム構造の薄膜部分にヒーターを形成し、その上にWO3膜を形成することを試みた。薄膜化によって温度の均一化が容易になるだけでなく、消費電力を低く抑えることができ、最終製品の小型化、低価格化ができると考えられる。更にWO3膜形成の際の焼成も薄膜部分のヒーターで行うことを検討している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e769 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396858663151,"sku":"IEEJ-ZT053173-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e23cdb9f-df25-48e7-817a-13cacb954e56.png?v=1744823549","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt053173","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}