{"product_id":"ieej-zt053174","title":"ホール効果測定による半導体薄膜ガスセンサの動作機構に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-174\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStudy on Operation Mechanisms of Semiconductor Thin-Film Gas Sensors by Hall Effect Measurements\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e植村 大蔵(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDaizo Uemura(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e薄膜ガスセンサ|ホール効果|キャリア密度|ホール移動度|ガス検出機構\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eRFスパッタリング法を用いて作製したFe\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e系薄膜ガスセンサは、NO\u003csub\u003eX\u003c\/sub\u003e等の環境汚染ガスや、H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e、i-C\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eH\u003csub\u003e10\u003c\/sub\u003e等の可燃性ガスに対して感度を示すが、そのキャリア密度やホール移動度、およびそれらのガス中での変化については、不明な点が多い。そこで、そのホール効果を大気中、NO\u003csub\u003eX\u003c\/sub\u003eまたは可燃性ガスを含む大気中で測定し、キャリア密度やホール移動度がどのように変化するかを調べ、ガス検出機構について考察したので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,812 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46396858695919,"sku":"IEEJ-ZT053174-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5d7540e9-ad68-4551-89d9-fe15eae48b88.png?v=1744823552","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt053174","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}