{"product_id":"ieej-zt061033","title":"大容積プラズマ源のためのマイクロホローカソード放電の並列動作特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-033\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eParallel operation Characteristics of Micro Hollow Cathode Discharges for large capacity plasma source\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e石ヶ谷 章弘(埼玉大学),大内 正樹(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkihiro Ishigaya(Saitama University),ouchi masaki(Saitama University),Mistuaki Maeyama(Saitama University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eMHCD|並列|大気圧放電|グロー放電\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e大気圧大容積放電プラズマ源の開発を目的とし、マイクロホローカソード放電（MHCD）プラズマの研究を行っている。MHCD単一では出力が小さく実用化が難しいため、単一の出力の拡大と、3つ以上のMHCDを並列動作させるための条件を求めることが本研究の目的である。そのため電極を作る際の作業工程の工夫、電極や絶縁シートの材料を変えるなどの改良を行い、MHCDが単一で安定に放電できる領域を拡大させ、並列動作の条件を求めた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e614 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397009592559,"sku":"IEEJ-ZT061033-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8055c2b0-e483-4a65-b896-29671b357bd1.png?v=1744829224","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt061033","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}