{"product_id":"ieej-zt061058","title":"純粋NH3およびNH3-Ar混合気体中の電子輸送係数の測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-058\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMeasurement of Electron Swarm Parameters in Pure NH\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e and NH\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e-Ar Mixtures\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大塚 良 (慶応大学),蓑毛 徹 (慶応大学),中村義春 (慶応大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電子輸送係数|NH3|NH3-Ar|電子ドリフト速度|縦方向拡散係数\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eプラズマプロセスに広く用いられるアンモニア(NH3)のより正確な電子衝突断面積セットを決定する事を最終目的に、純粋NH3およびNH3-Ar混合気体中の電子ドリフト速度と縦方向拡散係数をそれぞれ3\u003ce\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e864 Kバイト\u003c\/p\u003e\u003c\/e\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397016932591,"sku":"IEEJ-ZT061058-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_69738b36-2d32-4602-a6a0-73f460c94e95.png?v=1744829325","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt061058","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}