{"product_id":"ieej-zt061116","title":"時間相関イメージセンサを用いたMEMS 構造体の実時間三次元形状観察と高速断面走査","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-116\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eReal-time En-face OCT Visualization of MEMS Structure with Correlation Image Sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤世智 (東京大学),栗原 徹 (東京大学),安藤 繁 (東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e光コヒーレンス断層映像法|白色干渉|時間相関イメージセンサ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eMEMSや半導体の任意断面を実時間で非接触に観察する手法として，時間相関イメージセンサ（CIS）を用いた光コヒーレンス断層映像システムを提案する．本システムはMirau型干渉計の光検出器としてCISを用いるものであり，参照ミラーをPZTによって正弦波駆動しながら最高 33.3 Hz で対象の任意断面を計測することができる．また，同一構成で対象の三次元形状を奥行き方向にnmの精度で計測することもできる．MEMS構造体について観察結果を示す．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,642 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397043081455,"sku":"IEEJ-ZT061116-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_90c31d3b-943a-4e78-8fa5-e7953b8410fb.png?v=1744829697","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt061116","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}