{"product_id":"ieej-zt061157","title":"C8F18プラズマCVDによるa-C:F膜堆積- Ar混合の効果-","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-157\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDeposition of a-C:F Films by C\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e18\u003c\/sub\u003e Plasma CVD - Effect of Ar Admixture -\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小池 広恵(北海道大学),田澤 将太(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),須田 善行(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroe Koike(Hokkaido University),Shota Tazawa(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマCVD|フルオロカーボン|絶縁膜|アルゴン|比誘電率|表面\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eC8F18rfプラズマCVDにより非晶質フッ化炭素低誘電率絶縁薄膜を堆積した。膜表面観察と比誘電率測定の結果を基に検討したC8F18へのAr混合の効果について述べる。分圧0.2または0.3TorrのC8F18に0.1?0.3TorrのArを加えて封じ、rf電力100Wで銅またはシリコン基板に1?10分間堆積を行ったところ、Ar混合により膜表面が滑らかになる効果が観察された。C8F18\/Ar=0.3\/0.3Torrにおいて堆積時間とともに比誘電率が低下した。Ar*準安定励起原子によるC8F18分解促進や膜表面へのエネルギー供給、Ar+イオンの射突など、気相反応と表面反応の識別が今後の課題である。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e817 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397057695983,"sku":"IEEJ-ZT061157-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_55e9e565-9883-4a99-b409-2d45a21167b8.png?v=1744829959","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt061157","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}