{"product_id":"ieej-zt061164","title":"高速パルス放電による大気圧グロープラズマの生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-164\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAtmospheric pressure glow plasma generation with fast pulsed discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三上 亮 (東京工業大学),古屋文崇 (東京工業大学),井深真治 (東京工業大学),安岡康一 (東京工業大学),石井彰三 (東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロプラズマ|グロー放電|高速パルス電源\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e材料技術への応用を目指し、大気圧グローマイクロプラズマを高速パルス放電により実現し、その放電特性を解明することを目的とする。マイクロプラズマでは電極間隙が減少するに伴い、ストリーマの電極間橋絡時間などの放電に関する特性時間が短くなる。このためパルス駆動を詳細に検討するには、少なくともnsオーダの高速パルス電源を利用する必要がある。 PFLを用いた高速パルス電源を製作し、スイッチ素子を直列接続することで4kVの耐圧を実現した。Heガス流を100sccmとし、ケーブル長10mを用いてパルス幅50nsの高電圧を印加した場合、~700μmの範囲で~10A程度の大電流グロー放電が生成できた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e825 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397059694831,"sku":"IEEJ-ZT061164-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_344855e9-e36f-4af4-a1a1-a3fbffff9007.png?v=1744830013","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt061164","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}