{"product_id":"ieej-zt063005","title":"パルスレーザ蒸着法による(Bi,La)TiO薄膜の作製と評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-005\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCharacteristics of (Bi,La)TiO ferroelectric thin films prepared by pulsed laser deposition method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e横幕 孝丸(横浜国立大学),下重 誠治(横浜国立大学),割田 直人(横浜国立大学),羽路 伸夫(横浜国立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakamaru Yokomaku(Yokohama National University),seiji shimojyu(Yokohama National University),naoto warita(Yokohama National University),nobuo haneji(Yokohama National University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルスレーザ蒸着|強誘電体|ポストアニール|二段階成膜|(Bi|La)TiO|ぺロブスカイト構造\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究ではビスマス層状ペロブスカイト構造をとる(Bi3.25,La0.75)Ti3O12（以下BLT）をパルスレーザ蒸着法によりPt電極上に酸素圧力50mTorrで成膜し、上部にはPtをEB蒸着することによりMIMキャパシタを作製した。試料作製後、BLT薄膜の結晶化を促進し、またEB蒸着によるダメージを回復するために、酸素雰囲気中でポストアニールを700℃で行った。作製した試料について評価した結果を報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e690 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397085974767,"sku":"IEEJ-ZT063005-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b3506a77-d1fe-48e4-a607-75f5584cbdac.png?v=1744831088","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt063005","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}