{"product_id":"ieej-zt063134","title":"X線タルボ干渉計用回折格子の作製と評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-134\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of Diffraction Gratings for an X-ray Talbot Interferometer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 誠人(兵庫県立大学),松本 昌岳(ナガセケムテックス),野田 大二(兵庫県立大学),奥田 孝一(兵庫県立大学),百生 敦(東京大学),服部 正(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTanaka Makoto(University of Hyogo),Matsumoto Masatake(Nagase ChemteX CO.,LTD ),Noda Daiji(University of Hyogo ),Okuda Koichi(University of Hyogo ),Momose Atsushi(The University of Tokyo),Hattori Tadashi(University of Hyogo )\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eX線タルボ干渉計|X線リソグラフィ|電解めっき\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eX線による画像計測は現在でも医療診断、非破壊検査などで欠かすことの出来ない技術であるが、軟組織に対する感度不足がその用途を制限している。それらを解決するためX線の位相情報を利用したイメージングが研究されており、我々もイメージングの方法としてX線タルボ干渉計を提案している。X線タルボ干渉計の特徴は高輝度X線を必ずしも必要としないこと、また回折格子を用いた単純な構成であることが大きく上げられる。しかし干渉計を構成する回折格子にはピッチ数μm以下、厚み20μm以上が要求される。これらの要求を満たすためにX線リソグラフィ技術などを用いてピッチ5．3μm、厚み30μmの回折格子の試作を行った。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,083 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397099147503,"sku":"IEEJ-ZT063134-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_93d82d24-1565-43a9-ae7b-c7164e260faf.png?v=1744831816","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt063134","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}