{"product_id":"ieej-zt063148","title":"コムドライブアクチュエータを用いたAFMプローブに関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-148\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eResearch on AFM probe using comb drive actuator\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e鈴木 勝順(香川大学),綾野 賢治郎(香川大学),橋口 原(香川大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKatsuyori Suzuki(Kagawa University),Kenjiro Ayano(Kagawa University),Gen Hashiguchi(Kagawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e原子間力顕微鏡|コムドライブアクチュエータ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究はコムドライブアクチュエータによるAFMの可能性を検討することを目的としたものであり、ここでは実際に作製したコムドライブアクチュエータのアドミタンス特性について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,510 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397100097775,"sku":"IEEJ-ZT063148-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_1559b58b-899a-4f47-9d90-6f96db7ca4d1.png?v=1744831903","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt063148","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}