{"product_id":"ieej-zt063186","title":"バルクMEMSを用いた振動型加速度センサとその周辺回路に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-186\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStudy on Bulk-Micromachined Vibratory Beam Accelerometer and Their Interface Circuitry\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岡田 宏紀(兵庫県立大学),三木 芳彦(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroki Okada(University of Hyogo),Yoshihiko Miki(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e加速度センサ|共振|振動型加速度センサ|PLL|VCO\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本報告では、安定かつ高分解能に加速度検出を可能とする振動型MEMS加速度センサについて述べる。デバイスは4本の梁が中央のマスを支持する構造であり、バルクマイクロマシニングを用いることで大きな質量を得、加速度に対して大きな応力を振動梁に与えられる構成とした。デバイスサイズは5×5mmである。センサ出力は対角に配置した2本の梁の共振周波数の差である。周辺回路としては高いS\/Nで共振周波数が計測できるよう、オーバートーンPLL回路を提案した。その結果、大気中動作において印加加速度に対して60Hz\/Gの共振周波数差を得た。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,160 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397103046895,"sku":"IEEJ-ZT063186-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_61b06eeb-7f78-4d78-a667-22b0f09b56f3.png?v=1744832151","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt063186","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}