{"product_id":"ieej-zt071066","title":"SOIウェハ上における沿面放電現象","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-066\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSurface Discharge Phenomenon on SOI Wafer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e林 純也(東京大学),安井 遼(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学),日高 邦彦(東京大学),三田 吉郎(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eJunya Hayashi(The University of Tokyo),Ryo Yasui(The University of Tokyo),Akiko Kumada(The University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(The University of Tokyo),Yoshio Mita(The University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e沿面放電|電子デバイス|微小放電\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では、ナノ・マイクロ技術を駆使することにより、空間分解能が3μmと、従来の測定手法より2桁以上改善された電荷密度分布測定システムを構築し、沿面放電現象を高い時間・空間分解能で測定することを目的とする。まずその足がかりとして、SOI (Silicon on Insulator) ウェハより電極間距離が200μmの簡易電極を作成し、2μmSIO2薄膜上における沿面放電現象の基本的な特性を測定した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e797 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397219864815,"sku":"IEEJ-ZT071066-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_049d4efd-9b44-4283-8ac7-571b52cbb32a.png?v=1744837374","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt071066","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}