{"product_id":"ieej-zt071072","title":"Arエキシマから放射された放電発光の分光","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-072\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEmission Spectroscopy of discharge light radiated from Ar excimer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e稲田 大輔(千葉工業大学),鈴木 進(千葉工業大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDaisuke Inada(Chiba Institute of Technology),Susumu Suzuki(Chiba Institute of Technology),Haruo Itoh(Chiba Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e圧電トランス|強誘電体|誘電体バリア放電|エキシマ|真空紫外光\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e著者らは強誘電体(Pb(Zr・Ti)O\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e)製圧電トランス（PT）用いた各種プラズマリアクタの開発としてPT型エキシマランプの研究を行なっている。エキシマランプはUV及びVUV領域の光源として半導体のドライ洗浄、表面改質などに用いられている。PTはコンパクトで、1次側(駆動部)と2次側(発電部)から構成されており、1次側に数10Vを印加することで2次側では高電圧を発生する高電圧発生素子である。そのため、PTに対向してガラス電極を配置すると、その間で誘電体バリア放電(DBD)を発生させることができる。このDBD発生器をHe\/Xe混合ガス中で駆動するとXeエキシマ(Xe\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e*)172nmのVUV光が放射されていることを以前報告した。本報告では、同じ実験をArガス中で行ないArエキシマ(Ar\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e*)から126nmの光が放射されていることを分光実験により確かめた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e613 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397220389103,"sku":"IEEJ-ZT071072-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e2825400-dde8-42f4-983a-0dcc0cf6d413.png?v=1744837414","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt071072","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}