{"product_id":"ieej-zt071201","title":"極端紫外光源プラズマのレーザトムソン散乱法による計測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-201\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThomson Scattering diagnostics of plasmas for extreme ultraviolet lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山田 貴夫(九州大学),富田 健太郎(九州大学),荒木 俊二(九州大学),香川 敦祐(九州大学),内野 喜一郎(九州大学),今村 英樹(熊本大学),勝木 淳(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakao Yamada(Kyushu University),Kentaro Tomita(Kyushu University),shunji Araki(Kyushu University),Taisuke Kagawa(Kyushu University),Kiichiro Uchino(Kyushu University),Hideki Imamura(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e極端紫外光|リソグラフィー|Zピンチプラズマ|協同トムソン散乱\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e極端紫外光源用Zピンチプラズマの計測を、レーザトムソン散乱法を用いて行った。この研究では、計測レーザ波長（λ=532 nm）周辺にあらわれる、半値全幅で150 pm程度のイオン項を、波長分解能16 pmで測定した。測定には本研究専用に製作した、3枚の回折格子を用いた特別な分光器を使用することで、電極表面からの強い器壁散乱光とイオン項の分離を行った。実験の結果、アルゴンガス内で生成されたZピンチプラズマの電子密度、電子温度、平均イオン荷数を、測定誤差±10 ％程度の範囲内で評価することができた。この計測をZピンチプラズマ発生軸（Z軸）上の様々な点で行い、各プラズマパラメータの空間分布を調べた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e974 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397230809327,"sku":"IEEJ-ZT071201-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_045293c7-409f-46ef-b3db-0c12343ccd56.png?v=1744838134","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt071201","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}