{"product_id":"ieej-zt071226","title":"カーボンナノ構造体形成用CH4\/H2放電プラズマのモデリング","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-226\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eModeling of CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e\/H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eplasmas for fabrication of carbon nanostructures\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e市川 洋(名古屋工業大学),金子 絢(名古屋工業大学),山下 司(名古屋工業大学),小田 昭紀(名古屋工業大学),木村 高志(名古屋工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYo Ichikawa(Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology),Ken Kaneko(Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology),Tukasa Yamashita(Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology),Akinori Oda(Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology),Takashi Kimura(Graduate School of Engineering Nagoya Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ応用\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eメタンをはじめとする炭化水素系ガスを用いたグロー放電プラズマは、近年カーボンナノチューブなどのカーボンナノ構造体の形成に多く利用されている。プラズマを用いたプロセスは、プラズマ中の粒子が試料や基板表面に入射することで行われる。このため、目的とするカーボンナノ構造体を効率良く作製するには、プラズマ中の粒子の振る舞いを理解し制御することが重要である。そこで、本研究では、プラズマ中の粒子を巨視的に扱う流体モデルによるカーボンナノ構造体形成用直流グロー放電プラズマのシミュレーションを行い、放電プラズマ内の粒子の挙動を調査することを目的としている。本報告では、直流グロー放電プラズマ特性の圧力依存性に関し調査を行ったので、その結果を報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e839 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397232611567,"sku":"IEEJ-ZT071226-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5004bcc7-ed2b-41cc-bb10-652ca64c0f6e.png?v=1744838296","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt071226","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}