{"product_id":"ieej-zt073106","title":"直接電解金めっき法によるMEMS-RLG用Siミラーの反射率向上","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-106\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eImprovement of reflectivity for Si mirrors in MEMS-RLG\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e橋本 泰知(兵庫県立大学),中道 傑(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTaichi Hashimoto(Univercity of Hyogo),Suguru Nakamichi(Univercity of Hyogo),Kazusuke Maenaka(Univercity of Hyogo),Takayuki Fujita(Univercity of Hyogo),Yoichiro Takayama(Univercity of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eリングレーザ|RLG|MEMS|ジャイロ|Siミラー|金めっき\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eリングレーザジャイロ(RLG)は、加速度の影響を受けず、高精度、広ダイナミックレンジで角速度検出が可能な角速度センサである。しかし、光学デバイスには高いアライメントが要求され、小型化が困難であった。本研究室では、これまで小型化・量産性に優れたMEMS技術を用いたMEMS-RLGに関する研究を行ってきた。すでにMEMS-RLGの構成素子としてシリコン(Si)の異方性エッチングを利用したミラー、感光性エポキシ樹脂(SU-8)を用いたレンズ、プリズム及びレーザダイオード(LD)を設置するバネ構造の作製を行なっている。本稿では、光を周回させるミラーの反射率向上を図ったので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e955 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397254664431,"sku":"IEEJ-ZT073106-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_02e3fe85-5998-437c-837d-8e066f007d5c.png?v=1744839973","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073106","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}