{"product_id":"ieej-zt073107","title":"Z軸微小振動およびX,Y 2軸傾斜機能を有する電磁駆動型光MEMSミラーの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-107\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAn Optical MEMS Mirror Driven by Electromagnetic Force with the Functions of Z-axis Vibration and X, Y Bi-directional Tilting\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e渡部 善幸(山形県工業技術センター),三井 俊明(山形県工業技術センター),阿部 泰(山形県工業技術センター)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshiyuki Watanabe(Yamagata Research Institute of Technology),Toshiaki Mitsui(Yamagata Research Institute of Technology),Yutaka Abe(Yamagata Research Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e光MEMSミラー|電磁駆動|微小振動|2軸傾斜|低コヒーレント光|光波干渉\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e光波干渉計測法への応用を目的として、同期検波用Z軸高周波微小振動と光軸調整ならびに光スキャン用のX,Y2軸傾斜機能を有する電磁駆動型光MEMSミラーを開発した。X，Y2軸方向の静的傾斜特性を測定した結果，±10mAの駆動電流における光学角はX軸方向が±10°以上，Y軸方向が±5°以上であった。次に，Z軸方向の振動特性についてレーザードップラー振動計を用いて測定した。その結果，共振周波数は30.81kHz付近であり，駆動電圧の増加に伴い高周波側にシフトするハードスプリング効果が見られた。Q値は大気中動作ながら約1000で，駆動電圧6.54Vpp，周波数30.825kHzにおける振動振幅は0.99mmであった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,120 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397254762735,"sku":"IEEJ-ZT073107-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_dcdab90a-fceb-4ccb-9c5a-056425f3aa38.png?v=1744839983","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073107","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}