{"product_id":"ieej-zt073127","title":"コムドライブアクチュエータを用いたAFMシステムに関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-127\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eResearch on AFM system using comb drive actuator\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e鈴木 勝順(香川大学),綾野 賢治郎(香川大学),橋口 原(香川大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKatsuyori Suzuki(Kagawa University),Kenjiro Ayano(Kagawa University),Gen Hashiguchi(Kagawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eコムドライブアクチュエータ|AFM|自励発振|アドミタンス\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e最近、我々はコムドライブアクチュエータの機械イミタンス特性を解析し、機械共振周波数付近において明確な非線形特性を観測した。また、正帰還回路を用いることでコムドライブアクチュエータが自励発振することを観測した。自励発振周波数はプローブが試料面に触れると変化することも見出した。そこで我々はプローブが試料面に軽く触れた状態に保たれるよう、ステージを制御できるPID制御回路を作製した。プローブがこの位置で保たれている状態でXY平面を走査し、試料表面の凹凸を観察する。本研究は、光てこ法を用いない制御方法のAFMシステムを構築することを目的としており、今回はそのシステム構成について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,465 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397255614703,"sku":"IEEJ-ZT073127-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_71149def-6492-4341-9f88-d7065c2947fe.png?v=1744840087","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073127","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}