{"product_id":"ieej-zt073128","title":"ナノ領域温度計測用マイクロシステム -コンセプトと作製プロセス-","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-128\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eConcept and fabrication process of microsystem for nano area temperature measurement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 克洋(東北大学),桑野 博喜(東北大学),長澤 純人(東北大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKatsuhiro Tanaka(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e焦電素子|PZT|SThM|走査型熱顕微鏡\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e走査型熱顕微鏡（Scanning thermal microscopy (SThM)）は，熱電対等を集積化させた原子間力顕微鏡プローブを用いる，ナノ領域の温度・熱エネルギ計測技術である．本研究では，従来のSThM の持つプローブ?試料間の熱伝導等の問題を解決する為，微小開口と焦電素子を集積化したプローブによる新しいSThM 計測を提案する．実際に，焦電体にチタン酸ジルコン酸鉛（Pb(ZrxTi(1-x))O3:PZT）を用いた焦電素子プローブをマイクロマシニング技術によって作製し，その焦電特性を評価した．赤外線LEDによる熱刺激を与えたところ，電流0.5pA を確認した．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e632 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397255647471,"sku":"IEEJ-ZT073128-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e23c201d-6ef6-49ec-8d54-13525d53027c.png?v=1744840090","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073128","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}