{"product_id":"ieej-zt073129","title":"マイクロイオン源に関する研究-コンセプトと作製法-","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-129\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA study of a Micro ion source : Concept and Fabrication\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田面木 真也(東北大学),桑野 博喜(東北大学),長澤 純人(東北大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShinya Tamonoki(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eイオン源|マイクロマシニング|バルクハウゼン?クルツ振動\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eイオンビーム加工に用いる、小型、低製造コスト、高電流のマイクロイオン源の作製法の検討を行った。このようなマイクロイオン源が開発されたならば、多数のイオン源を同時並行的に用いてのMEMS一括加工など、生産性の大幅な向上が期待できる。小型化によりイオンを発生させるプラズマ発生部も小型となり、十分なイオン数を発生させることが難しい。よって本研究では、イオン発生原理にB.K.(Barkhausen-kurz)振動を用いることとした。これにより、小型でも十分利用可能な高イオン密度イオン源を目指す。また、マイクロマシニング技術を用いて作製することにより、低製造コストを目指す。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,332 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397255876847,"sku":"IEEJ-ZT073129-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4ab940b0-adf7-4a26-b154-dabf74fe02ed.png?v=1744840113","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073129","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}