{"product_id":"ieej-zt073131","title":"厚膜SOI基板上のCMOS\/MEMS集積化に向けた酸化膜ブリッジ構造による相互配線の形成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-131\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Novel Interconnection Process Using SiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e-Bridge Structure for Integrated CMOS\/MEMS on Thick-SOI Substrate\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e市川 武彦(豊橋技術科学大学),高尾 英邦(豊橋技術科学大学),清水 武士(セイコーエプソン),澤田 和明(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),村田 昭浩(セイコーエプソン)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakehiko Ichikawa(Toyohashi University of Technology),Hidekuni Takao(Toyohashi University of Technology),Takeshi shimizu(Seiko Epson Corporation),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Makoto Ishida(Toyohashi University of Technology),Akihiro Murata(Seiko Epson Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e厚膜SOI基板|CMOS-MEMS集積化|ポストCMOSプロセス|相互配線|Deep-RIE|ゼノンダイフロライドエッチング\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e1チップ上へのCMOS-MEMS集積化には、CMOSとMEMSを電気的に分離した上で、回路的には接続する必要がある。今回提案するシリコン酸化膜ブリッジを用いた配線方法は、CMOSプロセスにおいて配線が完了しており、CMOS完成後の配線形成工程は不要であることから、比較的簡便なポストCMOS-MEMSプロセスでCMOS-MEMSの集積化が可能である。このシリコン酸化膜ブリッジはCMOSプロセスにおいて成膜するフィールド酸化膜をXeF\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eエッチングでブリッジ状に形成し、CMOSとMEMSの 2領域の境界にあるシリコンを除去することで電気的に分離する。提案したプロセスを実際に行い、ブリッジ構造の形成を行うことができた。今後、CMOS-MEMSデバイスを完成し、特性評価を行う。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e878 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397255975151,"sku":"IEEJ-ZT073131-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a2a6e2ce-4d44-4173-8ac5-5d1dd6acd1cc.png?v=1744840120","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073131","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}