{"product_id":"ieej-zt073140","title":"PZT薄膜を用いたMEMSジャイロスコープの設計","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-140\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Design of MEMS Gyroscope Using PZT Thin Film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e伊賀 友樹(兵庫県立大学),瀧野文哉 (兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuki Iga(University of Hyogo),Fumiya Takino(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003ePZT薄膜|ジャイロスコープ|MEMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、MEMS技術の発展に伴い、MEMSジャイロスコープが開発、実用化され、カメラの手振れ補正、カーナビなどに用いられている。現在報告されているMEMSジャイロスコープの多くは振動型で、常に一定の振動、すなわち参照振動を必要とする。その駆動法として静電、電磁、圧電などの方法がある。本研究室では片持梁のシリコン構造体と圧電アクチュエータを組み合わせたジャイロスコープをいち早く提案したが[1]、薄膜の圧電体を用いることで小型化が期待できる。本研究では、大きな圧電性を示すチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の薄膜とシリコンを組み合わせたPt\/Ti\/PZT\/Pt\/Ti\/SiO2\/Si構造を持つ3つ叉の音叉を用いた振動型ジャイロスコープの設計を行ったので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e888 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397257056495,"sku":"IEEJ-ZT073140-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_aa9677ce-fd01-4614-a899-eb2458be7d1f.png?v=1744840179","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073140","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}