{"product_id":"ieej-zt073142","title":"MEMS ガスレートジャイロにおける往復流を用いたポンプの検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-142\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Study on Pump Generating Reciprocation Flow for MEMS Gas Rate Gyroscope\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高瀬 誠(兵庫県立大学),龍井 良明(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMakoto Takase(University of Hyogo),Yoshiaki Tatsui(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eガスレートジャイロ|圧電ポンプ|カンチレバー|MEMS|往復流\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、MEMS技術を用いたガスレートジャイロに関する報告がなされている。それらは検出部であるホットワイヤのみをMEMS技術で作製しており、駆動部であるポンプと分離されたものが多い。そこで本研究では、ポンプとホットワイヤを一体型としたMEMSガスレートジャイロを提案し、そのポンプに関する検討を行ったので報告する。ポンプの駆動方法は大変位が得られる圧電駆動とする。2枚の圧電素子とシリコーンシートでチャンバを密閉したカンチレバー型ポンプを提案した。実サイズのモデルにカンチレバー型ポンプを片側のみ設置し、反対側ではシリコーンシートの変位を確認した。また、算出より500Paの圧力を得られる。本研究室ではFEM解析より、500Paの出力からガス流速7m\/sという解析結果を得ている。この時、ガス流の偏向量は1ミクロン\/(rad\/sec)である。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,274 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397257744623,"sku":"IEEJ-ZT073142-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5a936f3a-66c7-4e74-b8af-b52c398d3124.png?v=1744840223","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073142","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}