{"product_id":"ieej-zt073157","title":"レーザアブレーション法を用いた高速・高感度H2ガスセンサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-157\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of fast response and high sensitivity hydrogen gas sensor using laser ablation method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高坂 大樹(埼玉大学),高 巍(埼玉大学),長谷川 有貴(埼玉大学),勝部 昭明(埼玉大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDaiki Kohsaka(Saitama University),Wei Gao(Saitama University),Yuki Hasegawa(Saitama University),Teruaki Katsube(Saitama University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e水素ガスセンサ|ヘテロ構造|レーザアブレーション|SiC\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e水素は次世代を担うエネルギーとして注目を集めており、高速・高感度なH2ガスセンサを開発することが重要になっている。本研究ではレーザアブレーション法を用いてPt\/SnO2\/SiC\/Niヘテロ構造センサを作製し、H2ガスに対する感度特性および動作温度の影響について検討した。その結果、350?500℃ではどの温度でも10ppmから400ppmまでの感度が得られ、400℃の時に最も高い感度が得られることがわかった。また、Pt電極及び感応膜を薄膜化することにより、H2ガス濃度400ppmに対する90％応答時間は30秒程度と高速化に成功した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e808 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397258989807,"sku":"IEEJ-ZT073157-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_44ce9493-590d-4e50-8277-15e04002e9da.png?v=1744840295","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt073157","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}