{"product_id":"ieej-zt074003","title":"窒化物半導体による分極接合デバイスの検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-003\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eTheoretical Study of Group-III Nitride Devices using Polarization Junction\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中島 昭(産業技術総合研究所),安達 和広(産業技術総合研究所),清水 三聡(産業技術総合研究所),奥村 元(産業技術総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkira Nakajima(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology,),Kazuhiro Adachi(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology,),Mitsuaki Shimizu(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology,),Hajime Okumura(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology,)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e超接合|スーパージャンクション|分極接合|GaN|窒化物半導体|HEMT\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e超接合(Super Junction: SJ) を用いたMOSFETやダイオードなどのSiパワーデバイスは、近年大きなお注目を集めてきた。SJ技術を用いることで、素子性能を保ったままデバイス面積を縮小することが可能となる。このSJをGaNなどのワイドバンドギャップ半導体デバイスに適用すれば、パワーデバイスのさらなる高性能化が期待できる。しかし、SJ構造の作製には精密なドーピング技術を要するため、Si以外の材料において実現することが難しい。そこで我々は、ドーピング無しでSJと同様の電界補償効果が得られる分極接合(Polarization Junction: PJ) を提案してきた。シミュレーション結果によれば、PJを用いることでデバイス面積の大幅な低減が期待できる。本研究では、GaNによるPJデバイスに関して、理論的な比較・検討を行った。その結果、PJを用いることで、GaNの材料限界を大きく超える性能が得られることが分かった。さらに、素子耐圧が750V以上の領域においては、ダイヤモンドの限界を超える結果が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,153 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397260792047,"sku":"IEEJ-ZT074003-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c5adfa35-40de-4ffe-803d-e987bc63b7c5.png?v=1744840455","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt074003","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}