{"product_id":"ieej-zt081045","title":"レーザトリガ型EUV放電光源の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-045\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Laser-triggered Light Source for EUV Lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e渡辺正人 (東京工業大学),岸 望 (東京工業大学),山田淳三郎 (東京工業大学),堀田栄喜 (東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eEUV|放電光源|レーザトリガ|リソグラフィ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e次世代光リソグラフィ用光源への適用を目指したEUV光源の開発について，近年，高い変換効率が得られるという利点から，錫を放電媒質として用いた光源開発が進められている。しかしながら，これまで放電媒質として用いてきたXeが気体であるのに対し錫は固体もしくは液状であるため，従来のZピンチ型放電光源の技術をそのまま適用することができず，あらたな技術開発が求められている。本報では，錫を用いた放電光源開発の第一歩として，放電をパルスレーザ照射により発生させる，いわゆるレーザトリガ型放電光源を開発したので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,503 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397359718639,"sku":"IEEJ-ZT081045-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_7062da7e-f2bd-4605-a322-39cc92d2bad0.png?v=1744846026","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt081045","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}