{"product_id":"ieej-zt081165","title":"プラズマフォーカスを用いた薄膜生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-165\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDeposition of thin film using a plasma focus device\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中田 洋平(富山大学),西野 勇紀(富山大学),王 植平(富山大学),Hamid Reza Yousefi (富山大学),伊藤 弘昭(富山大学),升方 勝己(富山大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYouhei Nakada(University of Toyama),Yuuki Nishino(University of Toyama),Syokuhei Ou(University of Toyama),Hamid reza Yousefi (University of Toyama),Hiroaki Itou(University of Toyama),Katsumi Masugata(University of Toyama)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマフォーカス|アモルファスカーボン|薄膜\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eプラズマフォーカス ( PF ) 発生装置は，高温，高密度のピンチプラズマを生成することができ，そのピンチした領域からは大電流密度 ( ~kA\/cm2 ) ，短パルス ( ~100ns ) の高エネルギーパルスイオンビームや，電子ビーム，X線等が発生し，これらを利用した研究が精力的に進められている．我々はその中でも，特にパルスイオンビームを用いた薄膜生成技術の確立を目標とし研究を行い，今回カーボン薄膜生成に成功した．その薄膜についてラマン分光器等により評価し，DLC に観測されるDピークとGピークが確認されたためこれを報告する．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e842 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397369221359,"sku":"IEEJ-ZT081165-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b86fe7cc-3210-4081-967e-8b4facc35a9a.png?v=1744846667","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt081165","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}