{"product_id":"ieej-zt081202","title":"流体モデルによるCF4 RFプラズマの構造解析(2)-衝撃電界重畳法によるCF4解離の促進-","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-202\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAnalysis of CF4 RF Plasmas Using Fluid Model (2)? Promotion of CF4 Dissociation Using Impulse-Field Electron Acceleration ?\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e江口 礼良(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学),須田 善行(北海道大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNoriyoshi Eguchi(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yousuke Sakai(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eCF4|RFプラズマ|流体モデル\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本報告では、平行平板電極容量結合型プラズマを想定し、CF4 RFプラズマを1次元流体モデルにより解析した。衝撃電界重畳法と呼ばれる、プラズマに衝撃電界を加えバルク中に多数存在する低エネルギーの電子をCF4解離が起こりやすいエネルギー域を狙って瞬時に加速する手法を使用した。ブロッキングコンデンサ容量8pF、CF4ガス圧力0.2Torr、電源電圧を1000Vとし、RF電源に500から2000Vまでのインパルス電圧を約1nsほど印加した。衝撃電界印加後の平均電子エネルギー、解離レートは上昇し、CF4の解離は促進された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,030 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397378265327,"sku":"IEEJ-ZT081202-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9127a7ad-4172-4897-a872-bb61383ae9dd.png?v=1744846891","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt081202","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}