{"product_id":"ieej-zt081204","title":"CHF3プラズマの解析(2)-電子輸送係数RF周期応答の圧力依存性-","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-204\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAnalysis of CHF3 plasmas - pressure dependence of RF periodical response of electron transport parameters -\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e齊藤隆典 (北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学),須田 善行(北海道大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRyusuke Saito(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yousuke Sakai(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|CHF3|電子輸送係数|シミュレーション\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e様々な圧力下でCHF3中の電子輸送係数の計算を行った。本報告ではドリフト速度及び平均電子エネルギーの交流電界に対する周期変化を示す。振幅1000TdのRF電界印加時の平均電子エネルギーは、圧力が比較的高い200mTorr、100mTorrでは、印加電界のピーク値付近では直流での値とほぼ一致した。しかし、±200Td以内の領域では直流での値よりも大きな値を持つことがわかった。一方、10mTorr以下の低圧下では、平均電子エネルギーは1周期を通してほとんど変化しない。振幅1000TdのRF電界印加時のドリフト速度は、100mTorr以上では電界変化に対しほぼ直線的に変化する。しかし、20mTorr以下ではドリフト速度は低気圧ほど円形に近い軌跡を描く。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,356 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397378396399,"sku":"IEEJ-ZT081204-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_95d5d15d-e003-4001-85e9-079a5a1e9ead.png?v=1744846901","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt081204","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}