{"product_id":"ieej-zt081206","title":"酸素添加の大気圧高周波He\/CF4およびHe\/SF6放電特性への影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-206\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEffect of Oxygen Addition on Characteristics of RF He\/CF4 and He\/SF6 Discharges at Atmospheric Pressure\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e木村 高志(名古屋工業大学),棚橋 裕基(名古屋工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakashi Kimura(Nagoya Institute of Technology),Hiroki Tanahashi(Nagoya Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大気圧放電|容量性高周波放電|反応性ガス|電気計測|発光分光計測\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e反応性ガスならびに酸素ガスをHeガス中に0.5?1％程度混合させ、間隙長1mmの平行平板電極に13.56MHzの高周波電圧を印加して大気圧容量性放電プラズマを生成した。電気的測定からCF4混入時では容量性となる一方、SF6混入時ではむしろ抵抗性を示したが、酸素添加の電気的特性への影響はみられなかった。次に、アクチノメトリに基づくフッ素原子密度の推定を行った結果、CF4混入時では、酸素ならびに反応性ガスの混入率の和に対する酸素混入率の比が0.2あたりで，SF6混入時の場合もその比が0.5あたりでフッ素原子密度が最大となった。本実験条件下で推定されたフッ素原子密度は1014cm-3のオーダーとなった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e780 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397378494703,"sku":"IEEJ-ZT081206-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_26f71f9a-7369-4d0b-9066-3a95e649007f.png?v=1744846907","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt081206","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}