{"product_id":"ieej-zt081212","title":"RFプラズマ支援レーザーアブレーションによる窒化炭素薄膜の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-212\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of Carbon Nitride Films Deposited by RF Plasma Assisted Laser Ablation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e木村 康宏(豊橋技術科学大学),安井 利明(豊橋技術科学大学),福本 昌宏(豊橋技術科学大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYasuhiro Kimura(Toyohashi University of Technology),Toshiaki Yasui(Toyohashi University of Technology),Masahiro Hukumoto(Toyohashi University of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e窒化炭素\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では，PLD法によって作製した窒化炭素について，イオン衝撃及び基材温度が皮膜の特性に与える影響を調査した．成膜には，YAGレーザーを用いて，真空チャンバー内を窒素雰囲気にして皮膜を作製した．イオン衝撃には，基材とターゲット間にRFにより負バイアスをかけ，窒素イオンの基材への衝突を促進した．皮膜の解析には，XPSによる原子組成比（N／C）及びsp3結合比を調べ，皮膜の構造についてSEM及びTEMにより解析を行った．その結果，皮膜に含まれる原子組成比及びsp3結合比は40Wで最大を示し，また，基材温度が高いほど，原子組成比及びsp3結合比は向上する傾向を示した．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,952 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46397379051759,"sku":"IEEJ-ZT081212-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_065501f1-3f56-4d96-9ecf-d76308dc8265.png?v=1744846957","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt081212","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}