{"product_id":"ieej-zt082088","title":"Si中過飽和Au回復過程で発生するナノサイズAu集合体","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-088\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eNano-Size Au Agglomerates Generated in Annealing Process of Supersaturated Au in Si\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e師岡 正美(福岡工業大学),安 岩(福岡工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasami Morooka(Fukuoka Institute of Technology),Yan An(Fukuoka Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eシリコン|金|集合体|不純物回復|不純物拡散\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eSi中でAu原子は置換位置と格子間位置を占め、置換Auには、その熱履歴に依存して高温置換Au、低温置換Au、低温置換Au集合体の3状態をとることが知られている。過飽和高温置換Auの熱平衡濃度への回復過程即ち外方拡散過程で、新しいナノサイズのAu集合体が発生することは既に報告した。今回、このAu集合体発生の冷却速度依存性、回復時間依存性、回復温度依存性（900℃と950℃）について調べたので報告する。さらに回復方法依存性（連続回復法と通常回復法）、即ち、上記高温置換Au回復過程で発生するAu集合体と低温置換Au回復過程で発生するAu集合体との違いについても報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e928 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397389570287,"sku":"IEEJ-ZT082088-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_79615a08-7eb3-455a-8923-679c7aea4a20.png?v=1744847551","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt082088","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}