{"product_id":"ieej-zt083098","title":"X線の回折を用いた3次元構造体の作製とLIGAプロセスへの応用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-098\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of 3 dimension resist microstructure using X-ray diffraction and applying to LIGA process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田靡 京(兵庫県立大学),佐和 吉敬(佐和鍍金工業),西田 諭史(ナノクリエート),野田 大二(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKyo Tanabiki(University of Hyogo),Yoshitaka Sawa(Sawa Plating Co.,Ltd.),Satoshi Nishida(Nanocreate Co.,Ltd.),Daiji Noda(University of Hyogo),Tadashi Hattori(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eLIGA|X線|リソグラフィー|電鋳\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e微細3次元構造体の作製技術としてLIGAプロセスがある。このプロセス中の成形過程において、特に高アスペクト比構造体の成形品は金型から抜くことが難しい。これは構造体に、最低1、2°のテーパーをつけることにより改善できる。そこで、本研究では、マスクとレジスト間にギャップをあけることによってX線の回折を起こし、レジストを露光することで、テーパー形状を有するライン＆スペースの構造体を作製し、金型の作製を試みた。作製した金型は40mm×45mmのサイズで、部分的にではあるが、テーパー角が2.5°となる良好なテーパー構造が転写できた。今後は完全な金型を作製し、テーパー角が成形時の離型性に及ぼす影響について検討する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e740 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397430202607,"sku":"IEEJ-ZT083098-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3bab1af7-f776-43b0-bef8-7e252a9e2e1c.png?v=1744848658","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083098","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}