{"product_id":"ieej-zt083101","title":"MEMS共振子を用いた電界電子放出電流の変調と検出","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-101\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eModulation and Detection of Field-emission Current by using MEMS Resonator\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山下 清隆(東京大学),Charlot Benoit(University of Montpellier II),Sun Winston(東京大学),角嶋 邦之(東京工業大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKiyotaka Yamashita(IIS,The University of Tokyo),Charlot Benoit(University of Montpellier II),Sun Winston(IIS,The University of Tokyo),Kuniyuki Kakushima(Tokyo Institute of Technology),Hiroyuki Fujita(IIS,The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(IIS,The University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) の高周波応用が，高周波領域におけるMEMSの低損失性と小型化により注目をされ，中でも固体フィルタ素子は損失が大きいため，高い機械的Q値をもつMEMSフィルタの研究が盛んに行われている．しかし，従来の静電結合方式のMEMS型高周波フィルタでは，デバイス寸法の小型化に伴って，信号出力電流が漸減するという問題がある．そこで，本研究では，MEMS共振フィルタの振動の検出に電界電子放出（FE：Field Emission）電流を用いる新規な方法を提案した．この方式では，FE電流にはデバイス寸法の小型化に伴い，出力電流が増えるという，今後のデバイスの高周波数化に有効な利点がある．本発表では，シリコンバルクマイクロマシニングによるFEティップに金属被覆した変調デバイスを作製し，FE電流の機械的変調および検出を試みた結果を報告する．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,137 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46397430726895,"sku":"IEEJ-ZT083101-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_61369a8d-e3ea-4c17-bf88-9eb9d736e300.png?v=1744848672","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt083101","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}